Thư Viện Tỉnh Vĩnh Long

Sách, tuyển tập

Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử/ Nguyễn Đức Chiến Chủ biên ; Nguyễn Văn Hiếu

Tác giả : Nguyễn Đức Chiến Chủ biên ; Nguyễn Văn Hiếu

Nhà xuất bản : Bách khoa

Năm xuất bản : 2014

Nơi xuất bản : Hà Nội

Mô tả vật lý : 279 tr.; 24 cm

Số phân loại : 621.3815

Chủ đề : 1. Công nghệ chế tạo -- Mạch vi điện tử.

Chia sẻ

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng: bay hơi phún xạ, kết tủa hoá học pha hơi,...

Chia sẻ

Hiển thị MARC

Thông tin xếp giá

Thư viện	Kho lưu trữ	Ký hiệu	Trạng thái	Đăng ký mượn
Thư viện tỉnh Vĩnh Long	Kho mượn	PM.038006	Phục vụ cho mượn (Đọc/Mượn)

Ldr		01172cam##22002055a 4500
001		00068128
005	__	20140821080835.0
008	__	140811s2014 vm \|\|\|\|\|\|viesd
020	__	$d1 b$c82000VND
040	__	$bvie$eAACR2
041	_0	$avie
044	__	$avm
082	14	$214$a621.3815$bC455NGH
100	_0	$aNguyễn, Đức Chiến
245	10	$aCông nghệ chế tạo mạch vi điện tử/$cNguyễn Đức Chiến Chủ biên ; Nguyễn Văn Hiếu
250	__	$aXuất bản lần thứ hai, có sửa chữa và bổ sung
260	__	$aHà Nội:$bBách khoa,$c2014
300	__	$a279 tr.;$c24 cm
500	__	$aThư mục tham khảo tr 226 - 227
520	_3	$aTrình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng: bay hơi phún xạ, kết tủa hoá học pha hơi,...
650	_4	$aCông nghệ chế tạo$xMạch vi điện tử
700	_0	$aNguyễn Văn Hiếu
852		$aVLLIB$bKho mượn$jPM.038006
900		1
911		Administrator
925		G
926		0
927		SH